우리 연구실에서는 반도체물리 연구실과 반도체물리 분석실 2개의 실험 연구실을 보유중에 있으며 반도체물리 연구실에서는 반도체 공정에 주로 사용되는 금속, 저유전율 박막 및 확산방지막 증착 실험과 45nm particle을 제거하기 위한 반도체 세정 실험을 실시하고 있으며, 반도체물리 분석실에서는 소자의 전기적 특성 분석, 나노입자의 물성분석 및 외부 연구 기관과 공동으로 시료 표면 분석을 실시하고 있습니다.

주요연구내용

• Cu 및 저유전율 (low-k) 박막의 확산방지를 위한 확산 방지막 연구
• 32nm particle 제거를 위한 차세대 반도체 세정 연구
• 나노입자 및 나노와이어의 표면 및 계면특성 분석 연구
• 나노소자의 특성분석 연구
• 나노 트리볼로지(Nano tribology)를 이용한 나노 및 바이오 소자의 mechanical properties 특성분석 연구

주요장비

• RF magnetron sputter (4 target)
• PECVD ( 2 set)
• 약액활성화장치 (PLVA; plasma liquid vapor activation system)
• WET-SPM (AFM, EFM, KFM, LFM, MFM, 진공 측정, 습도 및 온도변화가능)
• Nano-Indenter system
• Raman spectroscope
• 소자의 전기적 측정을 위한 각종 계측기

PLD(Pulsed laser deposition)기법 또는 RF Sputtering기법으로 자성물질과 유전물질을 증착하여 나노디바이스를 제작하고 물성을 분석하는 연구를 수행하고 있습니다.
또한 화학적 합성을 통해 자기적 성질을 가지는 Nano tube, Core@shell, Nanoparticle 연구를 바탕으로 차세대 나노재료를 개발하고 있습니다.

주요연구내용

• PLD기법으로 다층박막형 자기커패시터 소자 제작
• 소자의 물성 분석
• Nanoparticle 제조 및 물성 분석

주요장비

• PLD(Pulsed laser deposition)
• RF magnetron sputter
• X-ray diffraction spectroscopy
• Atomic force microscope

본 연구실은 영구자석, 자기메모리 및 기록매체, 자기헤드, 자기센서 등 자성재료에 대한 기초적인 성질과 분광학의 방법에 의한 고체의 물성연구를 진행하고 있습니다.

주요연구내용

• Ferrites
• Amorphous & Nanocrystal Structure
• CMR
• Garnet Magnets
• Hyperthermia

주요장비

• Sol-gel 실험실
• 고온 전기로(1700℃)
• Spectrometer
• Vacuum sealing
• Magnetherm

Nanotemplate 방식을 이용한 다양한 구조의 나노소자 제작과 함께 나노디바이스의 물성을 분석하는 연구를 진행하고 있습니다. 또한, 나노시스템에 적합한 Optical Beam Deflection 방식과 같은 광학적인 고감도 변위측정방법을 개발하고 있으며, 이러한 연구결과를 바탕으로 앞으로의 나노기술 분야에 응용할 수 있는 방법을 모색하고 있습니다.

주요연구내용

• Anodize Aluminium Oxide(AAO) 기판을 이용한 다양한 나노구조체 제작
• 나노미터 영역에서 일어나는 나노구조체의 물성 분석
• 나노소자의 광학적 변위 측정방법 개발 및 제작
• 나노소자의 동역학적, 물리학적 특성 분석 및 응용

주요장비

• Anodization Facility with Low Temperature Circulator
• Thermal Evaporator with in-situ Film Resistance Measurement Setup
• Optical Displacement Detection System with Quadrant Photodetector
• High Frequency Network Analyzer

응용광학연구실은 빛의 여러 특성을 활용하여 실용적 응용 광기술을 개발하고 있습니다. 중점적 연구주제로서 광간섭 현상을 응용한 의료영상기술, 정밀 센서 기술 및 광 측정용 레이저 광원기술을 연구하고 있으며, 바이오-의공학 및 산업적 광측정 및 계측에 적용할 수 있는 광학기기 및 시스템을 연구하고 있습니다.

주요연구내용

• 의료 진단용 영상기술
• 광섬유광학 센서
• 반도체 레이저 응용광원 개발
• 광 측정 및 계측 기술개발

주요장비

• Optical spectrometer
• Fiber splicer
• Optical table
• Optical coherence tomography
• Optical microscope
• Zemax OpticStudio, LabView

빛과 물질의 상호작용 특히 나노미터 크기의 다양한 구조를 가진 구조체가 빛과 상호작용을 할 때 어떤 현상이 나타나게 되는지에 대한 연구가 주요연구 주제입니다. 이러한 연구를 위해 빛과 물질의 상호작용 시뮬레이션, 구조의 제작, 그리고 빛의 반사 투과 흡수 발광현상 등을 측정하고 분석합니다.

주요연구내용

• Photonic crystal, 랜덤구조, 비주기구조의 광학적 특성
• 구조에 의한 빛의 완전흡수
• 구조를 이용한 광학필터

주요장비

• Spectrometer
• Photoluminescence 측정 장치
• 각도에 따른 빛의 투과 및 반사 측정 장치
• Micro 사이즈 물체의 산란 스펙트럼 측정 장치
• 광학 시뮬레이션 소프트웨어 : Comsol, Meep

표면물리 연구실은 표면 광전현상을 응용한 연구방법 중 하나인 광전자 회절을 이용하여 고체표면 및 고체 표면에 흡착된 기체 분자, 박막의 결합 구조를 분석하는 연구를 합니다. 이 연구는 초고진공하에서 실험을 진행하며 실험결과 해석은 광전자 산란에 바탕한 시뮬레이션과 실험결과를 해석합니다. 따라서 연구는 표면분자의 흡착, 광전자 회절 시뮬레이션에 관한 프로그래밍, 모듈레이션 함수를 얻기위한 데이타 처리등을 포함합니다.

주요연구내용

• 금속-초분자 흡착구조 분석
• 고체 표면 구조
• 다층박막의 계면연구

고체이론연구실은 물질의 전자구조 및 자성구조를 양자적으로 연구 계산하는 연구실입니다. 컴퓨터를 이용하여 고체 내부의 전자구조를 실험적인 결과 없이 제1원리로 계산하여 신물질의 특성을 연구하는 연구실입니다. 이 결과를 이용하여 첨단물질의 설계, 응용에 이용할 수 있습니다.

주요연구내용

• 새로운 전자구조 계산 원리 및 프로그램 개발
• 범밀도함수법에 의한 전이금속산화물의 전자구조 계산
• 자성물질 및 초전도체의 자성 특성 계산

주요장비

• 8 node intel cluster
• 12 node amd cluster
• Gaussian , FLAPW, openmx 등의 전자계산 프로그램